科研项目

（课题）名称

基于机器视觉及纳米精密定位平台的晶圆检测设备研究与开发

项目来源

市科技计划项目

项目负责人

卢盛林

项目预算（万元）

15

预算调整

0

支出合计

44818元

其中： 科研业务费

17800元

   设备购置费

21768元

 经费外拨

0

      国际合作交流费

0

人员费

0

    管理费提取

5250元

      其他间接费用

0